產(chǎn)品簡介
NE-Q15電感耦合等離子清洗機(jī)通過RF射頻電源在石英腔體內(nèi)感應(yīng)誘導(dǎo)氣體從而產(chǎn)生等離子體。 電感耦合等離子體即使在較低氣壓下也可以擁有較高的等離子體密度，可以減小等離子體源中的高能離子對基底的轟擊。設(shè)備采用高純石英玻璃作為反應(yīng)腔體，腔體潔凈度高，內(nèi)部無電極，可以避免電極濺射造成的污染問題。
設(shè)備用途：1、清洗：去除有機(jī)物、氧化物、金屬鹽、納米級(jí)微粒污染物等； 2、活化：親疏水改性、粘接性改善、表面能提升、官能團(tuán)引入、生物相容性改善等 ；3、刻蝕：表面圖案化、表面微刻蝕、改變表面形貌粗糙度等； 4、鍵合：PDMS等微流控器件鍵合、晶圓鍵合前預(yù)處理 ；5、去膠：光刻膠灰化、掃底膜；
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | NE-Q15 |
| 等離子發(fā)生器功率 | 0-500W連續(xù)可調(diào) |
| 等離子發(fā)生器頻率 | 射頻13.56MHz |
| 腔體材質(zhì) | 石英耐熱玻璃 |
| 腔體容積 | 15L |
| 腔體尺寸 | Φ250×300（D）mm |
| 工藝氣體通道 | 2路，氧氣、氬氣等 |
| 流量計(jì) | 50-500ml/min浮子流量計(jì) |
| 控制方式 | PLC+10寸觸摸屏 |
| 真空泵 | 干泵/油泵（可選） |
| 電源供應(yīng) | 220V |
| 外形尺寸 | 755mm(L)×880mm(W) ×1580 mm(H) |
等離子技術(shù)
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