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    低溫等離子體材料處理的作用及優(yōu)勢

    Jul. 25, 2023

    等離子體為區(qū)別于自然界常見的氣、液、固三種狀態(tài)以外的一種物質存在形態(tài)。等離子體是在高溫、高壓、低壓、電磁場或高能量流等特定條件下,物質發(fā)生電離而形成含有電子、離子、分子和自由基等物質的一種非凝聚狀態(tài)的統(tǒng)稱。等離子體系中正負電荷平衡,故等離子體系統(tǒng)呈電中性狀態(tài)。

    根據等離子體系中粒子的溫度,等離子體分為高溫等離子體、低溫等離子體兩類。其中高溫等離子體是指體系中的電子、離子和其他中性粒子溫度高達5000-20000K,且這些粒子的溫度幾乎相同,在體系中呈均勻分布,也稱為熱平衡等離子體。高溫等離子體一般在壓力高于100Torr時形成,常用于陶瓷等高熔點物質的燒結、金屬焊接等應用。低溫等離子體一般在壓力為數Torr時形成,體系中電子的溫度高達10000K,離子與中性粒子的溫度則低至室溫,因此整個體系是一個非平衡狀態(tài)。低溫等離子體常用于材料表面修飾、改性。等離子體按照產生方式分為低頻放電(3kHz或40kHz)、高頻放電(13.56MHz)和微波放電(2.45GHz)等。

    低溫等離子體具有對材料表面活化或修飾官能團的作用,因為等離子體中包含自由電子、離子、原子、處于激發(fā)態(tài)的分子、自由基和紫外光等多種具有高度活性的粒子,其各自能量如表1.1所示。

    等離子體中各粒子能量

    材料組成中常規(guī)的化學鍵鍵能如表1.2所示。對比表1.1和1.2可發(fā)現,等離子體中粒子的能量基本高于材料中常規(guī)化學鍵鍵能,因此在這些高能粒子轟擊下,材料表面可能發(fā)生化學鍵斷裂、重組,從而達到材料表面性能改變的目的。

    常規(guī)化學鍵鍵能

    低溫等離子體材料處理的作用主要有:

    (1)刻蝕,等離子體中高速運動的粒子對材料表面轟擊,材料燒蝕后在表面產生坑洼、孔洞,增加了材料比表面積并改善表面潤濕性。

    (2)輻射,處于激發(fā)態(tài)粒子不斷地進行電子躍遷,該過程將釋放多余的能量并發(fā)射光譜。處于紫外光波譜的能量非常強烈,吸附在材料表面產生自由基,達到材料性能改變的目的,或有利于后續(xù)高分子物質接枝。

    (3)表面交聯(lián)、修飾,等離子體中高能粒子包括電子、激發(fā)態(tài)粒子、自由基等轟擊材料表面使化學鍵發(fā)生斷裂,形成新的自由基,或通過自由基的撞擊直接向材料表面?zhèn)鬟f自由基。這些自由基之間發(fā)生組合形成新的基團,實現材料表面的交聯(lián)和修飾作用。

    低溫等離子處理技術的優(yōu)勢主要有:

    (1)不破壞材料的本體結構,一般僅對材料表面幾到幾十納米層范圍進行處理。而傳統(tǒng)化學處理或高能技術處理可深入到材料內部,導致材料本身結構被破壞。

    (2)可在無其它試劑介入的情況下對材料表面進行化學官能團修飾,無需對處理后材料進行清洗,工藝簡單且無試劑污染。

    (3)對被處理材料的形狀無要求,適用性廣。

    (4)處理時間短,等離子處理時間通常以秒或分鐘計,效率高。


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